THEORIS A302 12英寸立式低温退火炉
THEORIS A302 12 Inch Vertical Low-Temp Anneal Furnace
- 设备特点
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- 先进的压力控制系统
- 高精度温度场控制技术
- 先进的颗粒控制技术
- 可靠的氢气工艺能力技术
- 大产能
- 产品应用
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- 晶圆尺寸12英寸
- 适用材料硅
- 适用工艺低温常/低压工艺、合金、金属/非金属退火、薄片退火
- 适用领域集成电路、先进封装、功率半导体、硅基微型显示
