NMC 508Gt 深槽刻蚀机
NMC 508Gt Deep Trench Etcher
- 设备特点
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- 优化的进气系统和ESC系统，提高均匀性
- 量产稳定，高MTBC
- 光滑的侧壁形貌控制
- 灵活的侧壁角度可调性，便于后道填充
- 低拥有成本、低运营成本
- 产品应用
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- 晶圆尺寸6/8英寸兼容
- 适用材料硅
- 适用工艺深硅刻蚀
- 适用领域集成电路、功率半导体
