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DEMAX TN302T

12英寸立式氮化钛原子层沉积炉

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DEMAX TN302T 12英寸立式氮化钛原子层沉积炉
DEMAX TN302T 12 Inch Vertical TiN ALD Furnace
本产品主要应用于12英寸集成电路（IC）领域原子层氮化钛（TiN）薄膜沉积工艺，可高效沉积低电阻率TiN薄膜，兼备原位自清洗功能，可批量处理12英寸晶圆。
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产品应用
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