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3120G

12英寸前道通用化学品单片清洗设备

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3120G 12英寸前道通用化学品单片清洗设备
3120G 12 lnch Front-end general chemical Single Wafer Clean Tool
主要用于集成电路领域12英寸前段清洗工艺，采用堆叠式架构及多片式传输系统，占地小、产能高；采用热异丙醇（IPA）干燥技术，实现良好的干燥效果。颗粒去除表现卓越，跻身国内一流水平。
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