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公司名称:
业务联系人:赵曾男
Bpure 立式/卧式管舟清洗设备
Bpure Vertical/Horizontal Tube/Boat Clean System
主要用于集成电路、科研、化合物半导体等领域12英寸及以下尺寸的扩散、外延等设备的石英管/舟、碳化硅管的清洗。此外,也可以用于清洗其它石英材质的零部件,如石英板、点火炮、保温桶等。
设备特点
全自动清洗,浸泡式清洗与喷淋式清洗工艺可选
一机多用,可兼容石英管/ 舟/ 工件清洗
自主研发控制系统,友好的人机交互界面
自动配液系统,换酸便捷
分级安全互锁设置,确保设备安全可靠
产品应用
晶圆尺寸
8、12英寸
适用材料
石英、碳化硅
适用工艺
石英管/ 舟、石英板、点火炮、基座等零部件浸泡式清洗
适用领域
集成电路、科研、化合物半导体
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