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12英寸单片清洗设备
半导体装备 Semiconductor
SC3080A系列
12英寸单片清洗设备
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公司名称：
SC3080A系列 12英寸单片清洗设备
SC3080A Series 12 Inch Single Wafer Clean Tool
用于集成电路、先进封装、新兴应用等领域12英寸后段清洗工艺。稳定的传输系统保障高效工艺产出；精密的腔室设计支持高效的化学品回收效率；可配备伯努利卡盘，有效保护晶圆正面。
设备特点
精密的腔室微环境控制能力
支持多种化学品
高效的化学品回收效率
4 腔或8腔可选
产品应用
晶圆尺寸
12英寸
适用材料
单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、介质膜、金属膜
适用工艺
后段Cu/Al 制程刻蚀后清洗、Al Pad 清洗、背面清洗、背面刻蚀，后段控挡片回收
适用领域
集成电路，先进封装、新兴应用
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